MR傳感器

在本公司開(kāi)發(fā)的特殊磁性材料中，使用具有高精度磁記錄的柵尺。此外，通過(guò)帶有獨(dú)有的檢測(cè)模式的MR傳感器（起磁阻作用的元件）消除了諧波失真分量，從而使柵尺在保持高精度的同時(shí)，還能夠適應(yīng)惡劣的環(huán)境和劇烈的溫度變化。

耐結(jié)露和耐油性能

由于磁柵尺采用磁性檢測(cè)方式，所以不易受到機(jī)床上不可避免的結(jié)露和油污的影響，即使在惡劣的環(huán)境下，也能獲得穩(wěn)定的高精度

絕對(duì)式磁柵尺的檢測(cè)原理

在柵尺上會(huì)記錄2個(gè)磁道的模式。增量式磁道上刻有等間隔的SN Pitch信號(hào)，另一個(gè)磁道為了實(shí)現(xiàn)被稱(chēng)為M-編碼的絕對(duì)式（絕對(duì)位置）而刻有區(qū)號(hào)。磁性檢測(cè)采用專(zhuān)為柵尺開(kāi)發(fā)的特殊MR元件，實(shí)現(xiàn)了高靈敏度和低失真。

Magnescale擁有的內(nèi)插處理技術(shù)，實(shí)現(xiàn)高分辨率

內(nèi)插處理技術(shù)是一種將從磁柵尺檢測(cè)到的信號(hào)波形精確地分割成所需間距（細(xì)度）的技術(shù)。例如，智能磁柵尺從以400μm的間距刻出的磁刻度檢測(cè)到相位差為90度的兩個(gè)正弦波。現(xiàn)在將其進(jìn)行電分割，但如果信號(hào)包含失真，則無(wú)法獲得準(zhǔn)確的位置信息（真值）。從柵尺檢測(cè)到的信號(hào)中去除DC分量，實(shí)時(shí)進(jìn)行電平調(diào)整和相位調(diào)整，并通過(guò)高級(jí)處理進(jìn)行80,000次分割，以獲得分辨率為5nm的位置信息。